概述

電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

常見電子工業(yè)用氣體檢測項目

《電子工業(yè)用氣體?氮》：氮氣純度、氧含量、氫含量、一氧化碳含量、二氧化碳含量、總烴含量、水含量、雜質(zhì)總含量

《電子工業(yè)用氣體?氬》：氬氣純度、氧含量、氫含量、氮含量、一氧化碳和二氧化碳含量、總烴（以甲烷計）含量、水分含量、雜質(zhì)總含量

《電子工業(yè)用氣體?氦》：氦氣純度、氧含量、氮氣含量、一氧化碳和二氧化碳含量、總烴（以甲烷計）含量、水分含量、雜質(zhì)總含量

檢測標準

GB?T?16944-2009?電子工業(yè)用氣體?氮

GB?T?16945-2009?電子工業(yè)用氣體?氬?

GB?T?16943-2009?電子工業(yè)用氣體?氦?

GB?T?16942-2009?電子工業(yè)用氣體?氫??

GB?T?14604-2009?電子工業(yè)用氣體?氧?

GB?T?18994-2014?電子工業(yè)用氣體?高純氯?

GB?T?34085-2017?電子工業(yè)用氣體?三氟甲烷?